Simulation of a magnetron discharge using CFD
1 : Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés
(GREMI)
-
Website
CNRS : UMR7344, Université d'Orléans
14 Rue d'Issoudun - BP 6744 45067 ORLEANS CEDEX 2 -
France
2 : research group PLASMANT
(PLASMANT)
-
Website
* : Corresponding author
Campus Drie Eiken, Universiteitsplein 1, BE-2610 Antwerp-Wilrijk -
Belgium